消除“隐形威胁”:汉威科技为半导体工厂构筑安全防线

来源:汉威科技  作者:收藏
2026-05-29 10:00

在追求纳米级精度的芯片制造中,那些看不见、测不准的剧毒气体,正构成隐秘的安全盲区,汉威科技集团以新一代半导体工厂检测仪,精准锁定风险,将气体安全从“可靠”推向“极致”。

半导体工厂精密制造背后的“隐形威胁”

半导体制造离不开数十种特殊工艺气体,它们是芯片诞生的命脉,却也暗藏杀机。

其中,NF₃、C₅F₈、C₄F₆等超过三成的剧毒物质,化学性质极其稳定,常规传感器几乎无法识别——既测不准,也报不出。

这意味着,设备可能长期运行在“假安全”状态,员工也在无感知中暴露于真实风险。

这片监测“真空区”,是整个行业必须直面的致命短板。

汉威科技新一代半导体工厂气体检测仪

三大核心升级,安全无盲区

“双技术路线,专克“顽固气体”

针对传统手段难以捕捉的稳定性气体,汉威科技集团提供开创性的双技术路线。

红外传感器模组检测方案凭借高精度与强抗干扰性,实现直接、稳定监测;

而国内首创的热裂解单元方案,则通过独特的专利技术路径,在高湿、复杂工况下提供更经济、可靠的选择。

两种方案灵活可选,确保任何“沉默”的威胁都无所遁形。

“彩色智慧屏,操作零门槛

全新2.8英寸彩色屏幕,信息一目了然;

操作界面优化,一键直达常用功能。从显示到交互,让监测不再复杂。“

模块化卡扣,维护不费力

卡扣式前盖,徒手即可开合;

传感器模组与泵体模块化设计,更换维护简单高效。大幅降低运维门槛。

支持50余种半导体工艺气体检测,涵盖NF₃、C₅F₈、SiH₄、Cl₂等典型“顽固”气体,一机应对多场景需求。

汉威科技集团的新一代半导体工厂气体检测仪,不仅是一台设备,更是一套主动、精准、可感知的安全生态系统。汉威科技集团致力于让每一次呼吸都被守护,让顶尖科技在安全的环境中,稳健前行。


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